上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司

上海新陽創(chuàng)立于1999年，于2011年在創(chuàng)業(yè)板上市，已專注集成電路制造用關(guān)鍵工藝材料的研發(fā)生產(chǎn)銷售服務(wù)21年。上海新陽擁有電子電鍍、電子清洗兩大核心技術(shù)，其中芯片銅互連超純電鍍液及添加劑、銅蝕刻后清洗液產(chǎn)品已量產(chǎn)應(yīng)用于90-14nm技術(shù)節(jié)點，成為國內(nèi)20余條次集成電路產(chǎn)線的Baseline（基準(zhǔn)）。 上海新陽累計申請專利240余項，其中發(fā)明專利120余項，國際專利8項，公司多次承擔(dān)國家02科技重大專項項目，先后被認(rèn)定為國家科技部“02專項體制創(chuàng)新”企業(yè)、國家工信部“專精特新”小巨人企業(yè)、高新技術(shù)企業(yè)、上海市集成電路關(guān)鍵工藝材料重點實驗室、上海市企業(yè)技術(shù)中心等。如今，公司已立項研發(fā)電子光刻技術(shù)，相應(yīng)的I線、KrF、ArF光刻膠及工藝將成為公司第三大核心技術(shù)。